Wysoka czystość SemiceryŁopatka z węglika krzemuzostał starannie zaprojektowany, aby spełniać rygorystyczne wymagania nowoczesnych procesów produkcji półprzewodników. TenWiosło wspornikowe SiCdoskonale sprawdza się w środowiskach o wysokiej temperaturze, oferując niezrównaną stabilność termiczną i trwałość mechaniczną. Konstrukcja wspornikowa SiC jest zbudowana tak, aby wytrzymać ekstremalne warunki, zapewniając niezawodne przemieszczanie płytek w różnych procesach.
Jedna z kluczowych innowacji firmyWiosło SiCjest jego lekka, ale solidna konstrukcja, która pozwala na łatwą integrację z istniejącymi systemami. Wysoka przewodność cieplna pomaga utrzymać stabilność płytki w krytycznych fazach, takich jak trawienie i osadzanie, minimalizując ryzyko uszkodzenia płytki i zapewniając wyższą wydajność produkcyjną. Zastosowanie węglika krzemu o dużej gęstości w konstrukcji łopatki zwiększa jej odporność na zużycie, zapewniając dłuższą żywotność i zmniejszając potrzebę częstych wymian.
Semicera kładzie duży nacisk na innowacje, dostarczającWiosło wspornikowe SiCktóry nie tylko spełnia, ale przekracza standardy branżowe. Łopatka jest zoptymalizowana do stosowania w różnych zastosowaniach półprzewodników, od osadzania po trawienie, gdzie kluczowa jest precyzja i niezawodność. Integrując tę najnowocześniejszą technologię, producenci mogą oczekiwać zwiększonej wydajności, niższych kosztów konserwacji i stałej jakości produktu.
| Właściwości fizyczne rekrystalizowanego węglika krzemu | |
| Nieruchomość | Typowa wartość |
| Temperatura pracy (°C) | 1600°C (z tlenem), 1700°C (środowisko redukujące) |
| Zawartość SiC | > 99,96% |
| Darmowa zawartość Si | < 0,1% |
| Gęstość nasypowa | 2,60-2,70 g/cm23 |
| Pozorna porowatość | < 16% |
| Siła ściskania | > 600 MPa |
| Wytrzymałość na zginanie na zimno | 80-90 MPa (20°C) |
| Wytrzymałość na zginanie na gorąco | 90-100 MPa (1400°C) |
| Rozszerzalność cieplna przy 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Przewodność cieplna @1200°C | 23 W/m·K |
| Moduł sprężystości | 240 GPa |
| Odporność na szok termiczny | Niezwykle dobre |
