Płyta SiC jest rodzajem ceramiki o gęstej strukturze o 0 porowatości, opartej na SiC i spiekanej w temperaturze 2250 ℃.Zawartość SiC wynosi ponad 99,6%, wytrzymałość na zginanie przekracza 410 mpa, a przewodność cieplna wynosi 140 W/MK. Jest to jedyny materiał ceramiczny odporny na HF, H2SO4 i inną silną korozję kwasową.
Zalety ceramiki z węglika krzemu:
1, współczynnik rozszerzalności cieplnej jest mały, bardzo zbliżony do krzemu;
2, doskonała odporność na zużycie, twardość ustępując jedynie diamentowi;
3, doskonała przewodność cieplna, odporność na wysoką temperaturę i szybkie odprowadzanie ciepła;
![Uchwyt z węglika krzemu3](http://www.semi-cera.com/uploads/Silicon-carbide-chuck3.png)
Parametry techniczne
![Wersja 1](http://www.semi-cera.com/uploads/15a6ba392.png)
-
Niestandardowe spiekanie reakcyjn...
-
Urządzenia do cięcia laserowego mikrostrumieniowego (LMJ) można stosować...
-
Półprzewodnikowa łódź waflowa z węglika krzemu może być ...
-
Izolacja półprzewodnikowa z tlenku glinu o wysokiej czystości...
-
Część pierwsza – sprzęt epitaksjalny SiC...
-
Półprzewodnikowy mikroporowaty ceramiczny uchwyt próżniowy ...