Masowy pierścień CVD SiC

Przedstawiony obraz zbiorczego pierścienia CVD SiC

Krótki opis:

Masowe pierścienie CVD SiC wykorzystują gaz będący źródłem krzemu (taki jak wodorek krzemu) i gaz będący źródłem węgla (taki jak metan) jako surowce, reagując w wysokiej temperaturze w celu osadzania materiałów SiC o dużych rozmiarach na podłożu lub formie. Proces ten pozwala na równomierne osadzenie SiC na dużym obszarze, tworząc mocną i spójną strukturę pierścieniową.

Wyślij e-mail do nas

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Dlaczego pierścień trawiący z węglika krzemu?

RTPPierścienie CVD SiCsą szeroko stosowane w przemyśle i nauce, w środowiskach o wysokiej temperaturze i korozyjności. Odgrywa ważną rolę w produkcji półprzewodników, optoelektronice, maszynach precyzyjnych i przemyśle chemicznym. Konkretne zastosowania obejmują:

1. Produkcja półprzewodników:Pierścienie RTP CVD SiCmoże być stosowany do ogrzewania i chłodzenia sprzętu półprzewodnikowego, zapewniając stabilną kontrolę temperatury oraz zapewniając dokładność i spójność procesu.

2. Optoelektronika: Ze względu na doskonałą przewodność cieplną i odporność na wysoką temperaturę, RTPPierścienie CVD SiCmogą być stosowane jako materiały wspierające i rozpraszające ciepło dla laserów, sprzętu komunikacji światłowodowej i komponentów optycznych.

3. Maszyny precyzyjne: Pierścienie RTP CVD SiC można stosować w precyzyjnych instrumentach i sprzęcie pracującym w środowiskach wysokotemperaturowych i korozyjnych, takich jak piece wysokotemperaturowe, urządzenia próżniowe i reaktory chemiczne.

4. Przemysł chemiczny: Ze względu na odporność na korozję i stabilność chemiczną pierścienie RTP CVD SiC mogą być stosowane w pojemnikach, rurach i reaktorach w reakcjach chemicznych i procesach katalitycznych.

System Epi

systemu RTP

Układ CVD

Wydajność produktu:

1. Poznaj proces poniżej 28 nm

2. Super odporność na korozję

3. Super czysta wydajność

4. Super twardość

5. Wysoka gęstość

6. Odporność na wysoką temperaturę

7. Odporność na zużycie

Zastosowanie produktu:

Materiały z węglika krzemu charakteryzują się wysoką twardością, odpornością na zużycie, odpornością na korozję i stabilnością w wysokiej temperaturze. Produkty o doskonałej, wszechstronnej wydajności są szeroko stosowane w procesach trawienia na sucho i TF/dyfuzji.