Niestandardowa półprzewodnikowa taca ICP (trawienie)

Krótki opis:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. jest wiodącym dostawcą specjalizującym się w płytkach i zaawansowanych materiałach eksploatacyjnych do półprzewodników.Naszym celem jest dostarczanie wysokiej jakości, niezawodnych i innowacyjnych produktów do produkcji półprzewodników,branża fotowoltaicznai inne powiązane dziedziny.

Nasza linia produktów obejmuje produkty grafitowe powlekane SiC/TaC i produkty ceramiczne, obejmujące różne materiały, takie jak węglik krzemu, azotek krzemu i tlenek glinu itp.

Jako zaufany dostawca rozumiemy znaczenie materiałów eksploatacyjnych w procesie produkcyjnym, dlatego angażujemy się w dostarczanie produktów spełniających najwyższe standardy jakości, aby zaspokoić potrzeby naszych klientów.

 

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Opis produktu

Nasza firma świadczy usługi w zakresie powlekania SiC metodą CVD na powierzchni grafitu, ceramiki i innych materiałów, dzięki czemu specjalne gazy zawierające węgiel i krzem reagują w wysokiej temperaturze uzyskując cząsteczki SiC o wysokiej czystości, cząsteczki osadzone na powierzchni powlekanych materiałów, tworząc warstwę ochronną SIC.

Główne cechy:

1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze:

odporność na utlenianie jest nadal bardzo dobra, gdy temperatura wynosi aż 1600 C.

2. Wysoka czystość: uzyskana przez chemiczne osadzanie z fazy gazowej w warunkach chlorowania w wysokiej temperaturze.

3. Odporność na erozję: wysoka twardość, zwarta powierzchnia, drobne cząstki.

4. Odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.

3

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC

Właściwości SiC-CVD

Struktura kryształu

Faza β FCC

Gęstość

g/cm³

3.21

Twardość

Twardość Vickersa

2500

Rozmiar ziarna

um

2 ~ 10

Czystość chemiczna

%

99,99995

Pojemność cieplna

J·kg-1 ·K-1

640

Temperatura sublimacji

2700

Siła Felexuralna

MPa (RT 4-punktowy)

415

Moduł Younga

Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)

430

Rozszerzalność cieplna (CTE)

10-6K-1

4,5

Przewodność cieplna

(W/mK)

300


  • Poprzedni:
  • Następny: