Semicera dostarcza specjalistyczne powłoki z węglika tantalu (TaC) do różnych komponentów i nośników.Wiodący proces powlekania firmy Semicera umożliwia powłokom z węglika tantalu (TaC) osiągnięcie wysokiej czystości, wysokiej stabilności temperaturowej i wysokiej tolerancji chemicznej, poprawiając jakość produktu kryształów SIC/GAN i warstw EPI (Susceptor TaC pokryty grafitem) i wydłużenie żywotności kluczowych elementów reaktora.Zastosowanie powłoki TaC z węglika tantalu ma na celu rozwiązanie problemu krawędzi i poprawę jakości wzrostu kryształów, a Semicera dokonała przełomowego rozwiązania technologii powlekania węglikiem tantalu (CVD), osiągając międzynarodowy poziom zaawansowany.
Wraz z pojawieniem się 8-calowych płytek z węglika krzemu (SiC) wymagania dotyczące różnych procesów półprzewodnikowych stały się coraz bardziej rygorystyczne, szczególnie w przypadku procesów epitaksji, w których temperatury mogą przekraczać 2000 stopni Celsjusza.Tradycyjne materiały susceptorowe, takie jak grafit pokryty węglikiem krzemu, mają tendencję do sublimacji w tak wysokich temperaturach, zakłócając proces epitaksji.Jednakże węglik tantalu CVD (TaC) skutecznie rozwiązuje ten problem, wytrzymując temperatury do 2300 stopni Celsjusza i oferując dłuższą żywotność.Skontaktuj się z Semicerąs Górna półksiężyc pokryta węglikiem tantalu CVDaby dowiedzieć się więcej o naszych zaawansowanych rozwiązaniach.
Po latach rozwoju Semicera podbiła technologięCVD TaCdzięki wspólnym wysiłkom działu badawczo-rozwojowego.Wady łatwo powstają w procesie wzrostu płytek SiC, ale już po ich użyciuTaC, różnica jest znacząca.Poniżej znajduje się porównanie płytek z i bez TaC, a także części Simicery do wzrostu monokryształów.
![微信图片_20240227150045](http://www.semi-cera.com/uploads/acd12bbb1-300x225.png)
z TaC i bez
![微信图片_20240227150053](http://www.semi-cera.com/uploads/b53a51be1-300x225.png)
Po użyciu TaC (po prawej)
Poza tym SemiceraProdukty powlekane TaCwykazują dłuższą żywotność i większą odporność na wysoką temperaturę w porównaniu doPowłoki SiC.Pomiary laboratoryjne wykazały, że naszePowłoki TaCmoże stale pracować w temperaturach do 2300 stopni Celsjusza przez dłuższy czas.Poniżej kilka przykładów naszych próbek:
![3](http://www.semi-cera.com/uploads/330-300x300.png)
Susceptor pokryty TaC
![4](http://www.semi-cera.com/uploads/425-300x300.png)
Grafit z reaktorem pokrytym TaC
![0(1)](http://www.semi-cera.com/uploads/01.png)
![Miejsce pracy Semicery](http://www.semi-cera.com/uploads/Semicera-Work-place2.jpg)
![Miejsce pracy Semicera 2](http://www.semi-cera.com/uploads/Semicera-work-place-22.jpg)
![Maszyna sprzętowa](http://www.semi-cera.com/uploads/Equipment-machine2.jpg)
![Dom magazynowy Semicera](http://www.semi-cera.com/uploads/Semicera-Ware-House1.jpg)
![Obróbka CNN, czyszczenie chemiczne, powlekanie CVD](http://www.semi-cera.com/uploads/CNN-processing-chemical-cleaning-CVD-coating2.jpg)
![Nasze usługi](http://www.semi-cera.com/uploads/Our-service3.jpg)