Nośnik/susceptor SiC o wysokiej czystości

Wyróżniony obraz nośnika/susceptora SiC o wysokiej czystości

Krótki opis:

Tarcza łożyskowa z węglika krzemu jest również znana jako taca SIC, dysk trawiący z węglika krzemu, dysk trawiący ICP. Taca z węglika krzemu do trawienia LED (taca SiC) φ600mm to specjalne akcesorium do głębokiego trawienia krzemu (maszyna do trawienia ICP).

Wyślij e-mail do nas

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Opis

Ceramika z węglika krzemu ma doskonałe właściwości mechaniczne w temperaturze pokojowej, takie jak wysoka wytrzymałość, wysoka twardość, wysoki moduł sprężystości itp., ma również doskonałą stabilność w wysokich temperaturach, taką jak wysoka przewodność cieplna, niski współczynnik rozszerzalności cieplnej oraz dobra sztywność właściwa i optyka wydajność przetwarzania.
Nadają się szczególnie do produkcji precyzyjnych części ceramicznych do urządzeń z obwodami scalonymi, takich jak maszyny litograficzne, używane głównie do produkcji nośnika/susceptora SiC, łódki waflowej SiC, tarczy ssącej, płyty chłodzącej wodę, precyzyjnego reflektora pomiarowego, kraty i innych ceramicznych części konstrukcyjnych

przewoźnik2

przewoźnik3

przewoźnik4

Zalety

Odporność na wysoką temperaturę: normalne użytkowanie w temperaturze 1800 ℃
Wysoka przewodność cieplna: odpowiednik materiału grafitowego
Wysoka twardość: twardość ustępująca jedynie diamentowi i azotkowi boru
Odporność na korozję: mocny kwas i zasady nie powodują korozji, odporność na korozję jest lepsza niż węglik wolframu i tlenek glinu
Lekka waga: niska gęstość, zbliżona do aluminium
Brak deformacji: niski współczynnik rozszerzalności cieplnej
Odporność na szok termiczny: może wytrzymać ostre zmiany temperatury, jest odporny na szok termiczny i ma stabilną wydajność
Nośnik węglika krzemu, taki jak nośnik trawiący Sic, susceptor trawiący ICP, są szeroko stosowane w półprzewodnikowych CVD, rozpylaniu próżniowym itp. Możemy zapewnić klientom dostosowane nośniki waflowe z materiałów krzemu i węglika krzemu, aby spełnić różne zastosowania.

Zalety

Nieruchomość	Wartość	Metoda
Gęstość	3,21 g/cm3	Zlew-pływak i wymiary
Ciepło właściwe	0,66 J/g°K	Impulsowy błysk lasera
Wytrzymałość na zginanie	450 MPa560 MPa	Łuk 4-punktowy, Łuk punktowy RT4, 1300°
Odporność na pękanie	2,94 MPa m1/2	Mikroindentacja
Twardość	2800	Vickersa, wsad 500g
Moduł sprężystości Moduł Younga	450 GPa430 GPa	Kolano 4-punktowe, kolano RT4-pt, 1300°C
Wielkość ziarna	2 – 10 µm	SEM

Profil firmy

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. jest wiodącym dostawcą zaawansowanej ceramiki półprzewodnikowej i jedynym producentem w Chinach, który może jednocześnie dostarczać ceramikę z węglika krzemu o wysokiej czystości (zwłaszcza rekrystalizowany SiC) i powłokę CVD SiC. Ponadto nasza firma zajmuje się również polami ceramicznymi, takimi jak tlenek glinu, azotek glinu, tlenek cyrkonu i azotek krzemu itp.

Nasze główne produkty obejmują: tarczę trawiącą z węglika krzemu, hol do łodzi z węglika krzemu, łódkę z węglika krzemu (fotowoltaiczną i półprzewodnikową), rurę pieca z węglika krzemu, łopatkę wspornikową z węglika krzemu, uchwyty z węglika krzemu, belkę z węglika krzemu, a także powłokę CVD SiC i TaC powłoka. Produkty stosowane głównie w przemyśle półprzewodników i fotowoltaiki, takie jak sprzęt do hodowli kryształów, epitaksja, trawienie, pakowanie, piece do powlekania i dyfuzji itp.
o (2)