Semicera prezentuje wysokiej jakości niestandardowe produktyŁopatki wspornikowe z węglika krzemustworzone, aby usprawnić procesy produkcyjne półprzewodników. InnowacyjnyWiosło SiCkonstrukcja zapewnia wyjątkową trwałość i wysoką odporność termiczną, co czyni go niezbędnym elementem do przenoszenia płytek w trudnych środowiskach o wysokiej temperaturze.
TheŁopatka z węglika krzemujest zbudowany tak, aby wytrzymywać ekstremalne cykle termiczne, zachowując jednocześnie integralność strukturalną, zapewniając niezawodny transport płytek w krytycznych fazach produkcji półprzewodników. Dzięki doskonałej wytrzymałości mechanicznej tołódź waflowaminimalizuje ryzyko uszkodzenia płytek, co prowadzi do wyższej wydajności i stałej jakości produkcji.
Jedna z kluczowych innowacji w wiosle SiC firmy Semicera polega na niestandardowych opcjach projektowania. Dostosowane do konkretnych potrzeb produkcyjnych, wiosło zapewnia elastyczność w integracji z różnymi konfiguracjami sprzętu, co czyni go idealnym rozwiązaniem dla nowoczesnych procesów produkcyjnych. Lekka, ale solidna konstrukcja umożliwia łatwą obsługę i skraca przestoje operacyjne, przyczyniając się do poprawy wydajności w produkcji półprzewodników.
Oprócz swoich właściwości termicznych i mechanicznych,Łopatka z węglika krzemuzapewnia doskonałą odporność chemiczną, dzięki czemu może działać niezawodnie nawet w trudnych warunkach chemicznych. Dzięki temu szczególnie nadaje się do stosowania w procesach obejmujących trawienie, osadzanie i obróbkę w wysokiej temperaturze, gdzie utrzymanie integralności łódki waflowej ma kluczowe znaczenie dla zapewnienia wysokiej jakości wyników.
| Właściwości fizyczne rekrystalizowanego węglika krzemu | |
| Nieruchomość | Typowa wartość |
| Temperatura pracy (°C) | 1600°C (z tlenem), 1700°C (środowisko redukujące) |
| Zawartość SiC | > 99,96% |
| Darmowa zawartość Si | < 0,1% |
| Gęstość nasypowa | 2,60-2,70 g/cm23 |
| Pozorna porowatość | < 16% |
| Siła ściskania | > 600 MPa |
| Wytrzymałość na zginanie na zimno | 80-90 MPa (20°C) |
| Wytrzymałość na zginanie na gorąco | 90-100 MPa (1400°C) |
| Rozszerzalność cieplna przy 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Przewodność cieplna @1200°C | 23 W/m·K |
| Moduł sprężystości | 240 GPa |
| Odporność na szok termiczny | Niezwykle dobre |
