Izostatyczna łódź grafitowa PECVD

Przedstawiony obraz izostatycznej łodzi grafitowej PECVD

Krótki opis:

Izostatyczna łódź grafitowa PECVD jest szeroko stosowana w różnych ogniwach produkcji półprzewodników, takich jak osadzanie folii polikrzemowej, osadzanie folii tlenkowej, osadzanie folii azotkowej itp. Jej doskonałe działanie czyni ją idealnym nośnikiem płytek w procesie PECVD.

Wyślij e-mail do nas

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Izostatyczna łódź grafitowa SEMICERA PECVD to produkt grafitowy o wysokiej czystości i dużej gęstości, przeznaczony do podtrzymywania płytek w procesie PECVD (chemiczne osadzanie z fazy gazowej wspomaganej plazmą). SEMICERA wykorzystuje zaawansowaną technologię prasowania izostatycznego, aby zapewnić, że łódź grafitowa ma doskonałą odporność na wysokie temperatury, odporność na korozję, stabilność wymiarową i dobrą przewodność cieplną, co jest niezbędnym materiałem eksploatacyjnym w procesie produkcji półprzewodników.

Izostatyczna łódź grafitowa SEMICERA PECVD posiada następujące zalety:

▪ Wysoka czystość: Materiał grafitowy charakteryzuje się wysoką czystością i niską zawartością zanieczyszczeń, aby uniknąć zanieczyszczenia powierzchni płytki.

▪ Wysoka gęstość: Wysoka gęstość, wysoka wytrzymałość mechaniczna, wytrzymuje wysoką temperaturę i środowisko o wysokiej próżni.

▪ Dobra stabilność wymiarowa: Mała zmiana wymiarowa w wysokiej temperaturze zapewniająca stabilność procesu.

▪ Doskonała przewodność cieplna: Skutecznie przenoszą ciepło, zapobiegając przegrzaniu płytki.

▪ Wysoka odporność na korozję: Odporność na erozję powodowaną przez różne gazy korozyjne i plazmę.

Parametr wydajności	semicera	SGL R6510	Parametr wydajności
Gęstość nasypowa (g/cm3)	1,91	1,83	1,85
Wytrzymałość na zginanie (MPa)	63	60	49
Wytrzymałość na ściskanie (MPa)	135	130	103
Twardość Shore'a (HS)	70	64	60
Współczynnik rozszerzalności cieplnej (10-6/K)	85	105	130
Współczynnik rozszerzalności cieplnej (10-6/K)	5,85	4.2	5,0
Rezystywność (μΩm)	11-13	13	10

Zalety wyboru nas:
▪ Dobór materiałów: Aby zapewnić jakość produktu, stosuje się materiały grafitowe o wysokiej czystości.
▪ Technologia przetwarzania: Aby zapewnić gęstość i jednorodność produktu, stosuje się prasowanie izostatyczne.
▪ Dostosowanie rozmiaru: Łodzie grafitowe o różnych rozmiarach i kształtach można dostosować do potrzeb klienta.
▪ Obróbka powierzchni: Dostępne są różne metody obróbki powierzchni, takie jak powlekanie węglikiem krzemu, azotkiem boru itp., aby spełnić różne wymagania procesu.