Wszystkie cienkie folie stosowane w produkcji półprzewodników mają odporność, a rezystancja folii ma bezpośredni wpływ na działanie urządzenia. Zwykle nie mierzymy bezwzględnej rezystancji folii, ale wykorzystujemy rezystancję arkusza, aby ją scharakteryzować.
Co to jest opór powierzchniowy i opór objętościowy?
Rezystywność objętościowa, znana również jako rezystywność objętościowa, jest nieodłączną właściwością materiału, która charakteryzuje, jak bardzo materiał utrudnia przepływ prądu elektrycznego. Powszechnie używany symbol ρ oznacza, że jednostką jest Ω.
Rezystancja arkusza, znana również jako rezystancja arkusza, angielska nazwa to rezystancja arkusza, która odnosi się do wartości rezystancji folii na jednostkę powierzchni. Powszechnie używane symbole Rs lub ρs do wyrażania, jednostką jest Ω/sq lub Ω/□
Zależność między nimi jest następująca: opór powierzchniowy = rezystywność objętościowa/grubość folii, czyli Rs = ρ/t
Po co mierzyć rezystancję arkusza?
Pomiar rezystancji bezwzględnej folii wymaga dokładnej znajomości wymiarów geometrycznych folii (długość, szerokość, grubość), która ma wiele zmiennych i jest bardzo złożona w przypadku folii bardzo cienkich lub o nieregularnym kształcie. Rezystancja arkusza jest powiązana tylko z grubością folii i można ją szybko i bezpośrednio przetestować bez skomplikowanych obliczeń wielkości.
Które folie muszą mierzyć rezystancję arkusza?
Ogólnie rzecz biorąc, folie przewodzące i folie półprzewodnikowe muszą być mierzone pod kątem rezystancji kwadratowej, podczas gdy folie izolacyjne nie muszą być mierzone.
W przypadku domieszkowania półprzewodników mierzy się również rezystancję arkusza krzemu.
Jak zmierzyć rezystancję kwadratową?
W przemyśle powszechnie stosowana jest metoda czterosondowa. Metoda czterech sond umożliwia pomiar rezystancji kwadratowej w zakresie od 1E-3 do 1E+9Ω/m2. Metoda czterech sond pozwala uniknąć błędów pomiaru ze względu na rezystancję styku pomiędzy sondą a próbką.
Metody pomiaru:
1) Umieścić cztery liniowo rozmieszczone sondy na powierzchni próbki.
2) Zastosuj prąd stały pomiędzy dwiema zewnętrznymi sondami.
3) Określ rezystancję, mierząc różnicę potencjałów pomiędzy dwoma wewnętrznymi sondami
RS: rezystancja arkusza
ΔV: Zmiana napięcia mierzonego pomiędzy sondami wewnętrznymi
I: Prąd przykładany pomiędzy sondami zewnętrznymi
Czas publikacji: 29 marca 2024 r