Przemysł półprzewodników jest świadkiem bezprecedensowego wzrostu, zwłaszcza w dziedziniewęglik krzemu (SiC)elektronika mocy.Z wieloma na dużą skalęopłatekw fabrykach będących w trakcie budowy lub rozbudowy, aby zaspokoić rosnący popyt na urządzenia SiC w pojazdach elektrycznych, boom ten stwarza niezwykłe możliwości wzrostu zysków.Jednak niesie ze sobą także wyjątkowe wyzwania, które wymagają innowacyjnych rozwiązań.
U podstaw rosnącej globalnej produkcji chipów SiC leży produkcja wysokiej jakości kryształów, płytek i warstw epitaksjalnych SiC.Tutaj,grafit klasy półprzewodnikowejMateriały odgrywają kluczową rolę, ułatwiając wzrost kryształów SiC i osadzanie się warstw epitaksjalnych SiC.Izolacja termiczna i obojętność grafitu sprawiają, że jest to preferowany materiał, szeroko stosowany w tyglach, cokołach, dyskach planetarnych i satelitach w systemach wzrostu kryształów i epitaksji.Niemniej jednak trudne warunki procesu stanowią poważne wyzwanie, prowadząc do szybkiej degradacji składników grafitu, a w konsekwencji utrudniając produkcję wysokiej jakości kryształów SiC i warstw epitaksjalnych.
Produkcja kryształów węglika krzemu wiąże się z niezwykle trudnymi warunkami procesu, w tym temperaturami przekraczającymi 2000°C i silnie korozyjnymi substancjami gazowymi.Często skutkuje to całkowitą korozją tygli grafitowych po kilku cyklach procesu, zwiększając w ten sposób koszty produkcji.Dodatkowo trudne warunki zmieniają właściwości powierzchni elementów grafitowych, pogarszając powtarzalność i stabilność procesu produkcyjnego.
Aby skutecznie stawić czoła tym wyzwaniom, przełomowa okazała się technologia powłok ochronnych.Powłoki ochronne na baziewęglik tantalu (TaC)zostały wprowadzone w celu rozwiązania problemów związanych z degradacją składników grafitu i niedoborami dostaw grafitu.Materiały TaC charakteryzują się temperaturą topnienia przekraczającą 3800°C i wyjątkową odpornością chemiczną.Wykorzystując technologię chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD),Powłoki TaCo grubości do 35 milimetrów można bezproblemowo osadzać na elementach grafitowych.Ta warstwa ochronna nie tylko zwiększa stabilność materiału, ale także znacznie wydłuża żywotność elementów grafitowych, w konsekwencji obniżając koszty produkcji i zwiększając efektywność operacyjną.
Semicera, wiodący dostawcaPowłoki TaCodegrał kluczową rolę w zrewolucjonizowaniu przemysłu półprzewodników.Dzięki najnowocześniejszej technologii i niezachwianemu zaangażowaniu w jakość firma Semicera umożliwiła producentom półprzewodników pokonanie krytycznych wyzwań i osiągnięcie nowych wyżyn sukcesu.Oferując powłoki TaC o niezrównanej wydajności i niezawodności, Semicera ugruntowała swoją pozycję zaufanego partnera dla firm produkujących półprzewodniki na całym świecie.
Podsumowując, technologia powłok ochronnych, napędzana innowacjami takimi jakPowłoki TaCfirmy Semicera zmienia krajobraz półprzewodników i toruje drogę dla bardziej wydajnej i zrównoważonej przyszłości.
Czas publikacji: 16 maja 2024 r