Jakie są główne etapy przetwarzania podłoży SiC?

 

Jak produkujemy – etapy przetwarzania podłoży SiC są następujące:

 

1. Orientacja kryształu:

Wykorzystanie dyfrakcji promieni rentgenowskich do zorientowania wlewka kryształu. Kiedy wiązka promieni rentgenowskich jest skierowana na żądaną powierzchnię kryształu, kąt ugiętej wiązki określa orientację kryształu.

 

2. Szlifowanie średnicy zewnętrznej:

Pojedyncze kryształy hodowane w tyglach grafitowych często przekraczają standardowe średnice. Szlifowanie średnicy zewnętrznej redukuje je do standardowych rozmiarów.

 

 

3. Zakończ szlifowanie powierzchni:

4-calowe podłoża 4H-SiC mają zazwyczaj dwie krawędzie pozycjonujące, pierwotną i wtórną. Szlifowanie powierzchni czołowej otwiera te krawędzie pozycjonujące.

 

4. Cięcie drutem:

Cięcie drutem jest kluczowym krokiem w przetwarzaniu podłoży 4H-SiC. Pęknięcia i uszkodzenia podpowierzchniowe powstałe podczas cięcia drutem negatywnie wpływają na późniejsze procesy, wydłużając czas obróbki i powodując straty materiału. Najpopularniejszą metodą jest cięcie wielodrutowe przy użyciu ścierniwa diamentowego. Do cięcia wlewka 4H-SiC wykorzystuje się ruch posuwisto-zwrotny metalowych drutów połączonych diamentowymi materiałami ściernymi.

 

5. Fazowanie:

Aby zapobiec odpryskom krawędzi i zmniejszyć straty materiałów eksploatacyjnych podczas kolejnych procesów, ostre krawędzie wiórów piłowanych drutem są fazowane do określonych kształtów.

 

6. Rozcieńczanie:

Cięcie drutem pozostawia wiele zadrapań i uszkodzeń podpowierzchniowych. Rozcieńczanie odbywa się za pomocą tarcz diamentowych, aby w miarę możliwości usunąć te wady.

 

7. Szlifowanie:

Proces ten obejmuje szlifowanie zgrubne i szlifowanie dokładne przy użyciu mniejszych rozmiarów węglika boru lub materiałów ściernych diamentowych w celu usunięcia uszkodzeń resztkowych i nowych uszkodzeń powstałych podczas rozcieńczania.

 

8. Polerowanie:

Końcowe etapy obejmują polerowanie zgrubne i dokładne polerowanie przy użyciu materiałów ściernych z tlenku glinu lub tlenku krzemu. Płyn polerski zmiękcza powierzchnię, która następnie jest usuwana mechanicznie za pomocą materiałów ściernych. Ten krok zapewnia gładką i nieuszkodzoną powierzchnię.

 

9. Czyszczenie:

Usuwanie cząstek, metali, warstw tlenków, pozostałości organicznych i innych zanieczyszczeń pozostałych po etapach przetwarzania.