Co to jest nośnik waflowy MOCVD?

W dziedzinie produkcji półprzewodników,MOCVD (chemiczne osadzanie z fazy gazowej metali organicznych)technologia szybko staje się kluczowym procesem, aNośnik wafli MOCVDbędąc jednym z jego głównych elementów. Postępy w MOCVD Wafer Carrier znajdują odzwierciedlenie nie tylko w procesie produkcyjnym, ale także w szerokim zakresie scenariuszy zastosowań i przyszłym potencjale rozwojowym.

susceptor mocvd 

Zaawansowany proces
MOCVD Wafer Carrier wykorzystuje materiał grafitowy o wysokiej czystości, który dzięki precyzyjnej obróbce i technologii powlekania SiC CVD (chemiczne osadzanie z fazy gazowej) zapewnia optymalną wydajność płytek wreaktory MOCVD. Ten wysokiej czystości materiał grafitowy charakteryzuje się doskonałą jednorodnością termiczną i możliwością szybkiej zmiany temperatury, umożliwiając wyższą wydajność i dłuższą żywotność w procesie MOCVD. Dodatkowo konstrukcja nośnika wafli MOCVD uwzględnia potrzeby dotyczące jednorodności temperatury oraz szybkiego ogrzewania i chłodzenia, poprawiając w ten sposób stabilność i wydajność procesu.

 

Scenariusze zastosowań
Nośnik wafli MOCVD jest szeroko stosowany w takich dziedzinach, jak diody LED, elektronika mocy i lasery. W tych zastosowaniach wydajność nośnika waflowego bezpośrednio wpływa na jakość produktu końcowego. Na przykład przy produkcji chipów LED rotacja i równomierne ogrzewanie nośnika wafli MOCVD zapewniają jakość powłoki, zmniejszając w ten sposób ilość złomowanych chipów. Ponadto,Nośnik wafli MOCVDodgrywa kluczową rolę w produkcji energoelektroniki i laserów, zapewniając wysoką wydajność i niezawodność tych urządzeń.

taca mocvd

Przyszłe trendy rozwojowe
Z perspektywy globalnej firmy takie jak AMEC, Entegris i Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. posiadają wiodącą przewagę technologiczną w produkcji nośników wafli MOCVD. Wraz z ciągłym rozwojem technologii półprzewodników rośnie również zapotrzebowanie na nośniki płytek MOCVD. W przyszłości, wraz z popularyzacją nowych technologii, takich jak 5G, Internet rzeczy i nowe pojazdy energetyczne, nośniki wafli MOCVD będą odgrywać ważną rolę w większej liczbie dziedzin.

Susceptor z grafitu powlekanego sic

Co więcej, wraz z postępem w materiałoznawstwie, nowe technologie powlekania i materiały grafitowe o wyższej czystości jeszcze bardziej poprawią wydajność nośników waflowych MOCVD. Na przykład w przyszłych nośnikach płytek MOCVD można zastosować bardziej zaawansowane technologie powlekania, aby poprawić ich trwałość i stabilność termiczną, tym samym jeszcze bardziej obniżając koszty produkcji i poprawiając wydajność produkcji.


Czas publikacji: 09 sierpnia 2024 r