Semicerama przyjemność zaoferowaćKaseta PFA, doskonały wybór do obsługi płytek w środowiskach, w których najważniejsza jest odporność chemiczna i trwałość. Wykonana z materiału perfluoroalkoksylowego (PFA) o wysokiej czystości, kaseta ta została zaprojektowana tak, aby wytrzymać najbardziej wymagające warunki w produkcji półprzewodników, zapewniając bezpieczeństwo i integralność płytek.
Niezrównana odporność chemicznaTheKaseta PFAzostał zaprojektowany tak, aby zapewnić doskonałą odporność na szeroką gamę substancji chemicznych, co czyni go idealnym wyborem do procesów, w których wykorzystuje się agresywne kwasy, rozpuszczalniki i inne agresywne chemikalia. Ta solidna odporność chemiczna gwarantuje, że kaseta pozostanie nienaruszona i funkcjonalna nawet w najbardziej korozyjnych środowiskach, przedłużając w ten sposób jej żywotność i zmniejszając potrzebę częstych wymian.
Konstrukcja o wysokiej czystościSemiceraKaseta PFAjest wytwarzany z ultraczystego materiału PFA, który ma kluczowe znaczenie w zapobieganiu zanieczyszczeniom podczas przetwarzania płytek. Ta konstrukcja o wysokiej czystości minimalizuje ryzyko wytwarzania cząstek i wymywania środków chemicznych, zapewniając ochronę płytek przed zanieczyszczeniami, które mogłyby obniżyć ich jakość.
Zwiększona trwałość i wydajnośćZaprojektowany z myślą o trwałościKaseta PFAzachowuje integralność strukturalną w ekstremalnych temperaturach i rygorystycznych warunkach przetwarzania. Niezależnie od tego, czy jest wystawiona na działanie wysokich temperatur, czy wielokrotna obsługa, kaseta ta zachowuje swój kształt i wydajność, oferując długoterminową niezawodność w wymagających środowiskach produkcyjnych.
Precyzyjna inżynieria zapewniająca bezpieczną obsługęTheKaseta Semicera PFAcharakteryzuje się precyzyjną inżynierią, która zapewnia bezpieczną i stabilną obsługę płytek. Każde gniazdo zostało starannie zaprojektowane, aby bezpiecznie trzymać płytki na miejscu, zapobiegając wszelkim ruchom lub przesunięciom, które mogłyby spowodować uszkodzenie. Ta precyzyjna inżynieria umożliwia spójne i dokładne umieszczanie płytek, przyczyniając się do ogólnej wydajności procesu.
Wszechstronne zastosowanie w różnych procesachDzięki swoim doskonałym właściwościom materiałowym,Kaseta PFAjest na tyle wszechstronny, że można go stosować na różnych etapach wytwarzania półprzewodników. Szczególnie dobrze nadaje się do trawienia na mokro, chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD) i innych procesów obejmujących trudne warunki chemiczne. Jego możliwości adaptacyjne sprawiają, że jest to niezbędne narzędzie do utrzymywania integralności procesu i jakości płytek.
Zaangażowanie w jakość i innowacyjnośćW Semicerze zależy nam na dostarczaniu produktów spełniających najwyższe standardy branżowe. TheKaseta PFAjest przykładem tego zaangażowania, oferując niezawodne rozwiązanie, które płynnie integruje się z procesami produkcyjnymi. Każda kaseta przechodzi ścisłą kontrolę jakości, aby mieć pewność, że spełnia nasze rygorystyczne kryteria wydajności, zapewniając doskonałość, jakiej oczekujesz od Semicery.
| Rzeczy | Produkcja | Badania | Atrapa |
| Parametry kryształu | |||
| Polityp | 4H | ||
| Błąd orientacji powierzchni | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametry elektryczne | |||
| Domieszka | Azot typu n | ||
| Oporność | 0,015-0,025 oma·cm | ||
| Parametry mechaniczne | |||
| Średnica | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Grubość | 350±25 µm | ||
| Podstawowa orientacja płaska | [1-100]±5° | ||
| Podstawowa długość płaska | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Mieszkanie wtórne | Nic | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 µm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Ukłon | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Osnowa | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 µm |
| Chropowatość przodu (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktura | |||
| Gęstość mikrorurki | <1 szt./cm2 | <10 szt./cm2 | <15 szt./cm2 |
| Zanieczyszczenia metaliczne | ≤5E10atomów/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 szt./cm2 | ≤3000 szt./cm2 | NA |
| TSD | ≤500 szt./cm2 | ≤1000 szt./cm2 | NA |
| Jakość przodu | |||
| Przód | Si | ||
| Wykończenie powierzchni | Si-face CMP | ||
| Cząstki | ≤60ea/wafel (rozmiar ≥0,3μm) | NA | |
| Zadrapania | ≤5 szt./mm. Długość skumulowana ≤Średnica | Długość skumulowana ≤2*Średnica | NA |
| Skórka pomarańczowa/pestki/plamy/prążki/pęknięcia/zanieczyszczenia | Nic | NA | |
| Wióry/wcięcia/pęknięcia/płytki sześciokątne na krawędziach | Nic | ||
| Obszary politypowe | Nic | Powierzchnia skumulowana ≤20% | Powierzchnia skumulowana ≤30% |
| Znakowanie laserowe z przodu | Nic | ||
| Powrót Jakość | |||
| Wykończenie tyłu | CMP z twarzą C | ||
| Zadrapania | ≤5ea/mm, skumulowana długość ≤2*średnica | NA | |
| Wady grzbietu (odpryski/wcięcia krawędzi) | Nic | ||
| Szorstkość pleców | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Tylne znakowanie laserowe | 1 mm (od górnej krawędzi) | ||
| Krawędź | |||
| Krawędź | Ścięcie | ||
| Opakowanie | |||
| Opakowanie | Epi-ready z opakowaniem próżniowym Opakowanie kasetowe składające się z wielu wafli | ||
| *Uwagi: „NA” oznacza brak żądania. Pozycje niewymienione mogą odnosić się do SEMI-STD. | |||
