RTPPierścienie CVD SiCsą szeroko stosowane w przemyśle i nauce, w środowiskach o wysokiej temperaturze i korozyjności. Odgrywa ważną rolę w produkcji półprzewodników, optoelektronice, maszynach precyzyjnych i przemyśle chemicznym. Konkretne zastosowania obejmują:
1. Produkcja półprzewodników:Pierścienie RTP CVD SiCmoże być stosowany do ogrzewania i chłodzenia sprzętu półprzewodnikowego, zapewniając stabilną kontrolę temperatury oraz zapewniając dokładność i spójność procesu.
2. Optoelektronika: Ze względu na doskonałą przewodność cieplną i odporność na wysoką temperaturę, RTPPierścienie CVD SiCmogą być stosowane jako materiały wspierające i rozpraszające ciepło dla laserów, sprzętu komunikacji światłowodowej i komponentów optycznych.
3. Maszyny precyzyjne: Pierścienie RTP CVD SiC można stosować w precyzyjnych instrumentach i sprzęcie pracującym w środowiskach wysokotemperaturowych i korozyjnych, takich jak piece wysokotemperaturowe, urządzenia próżniowe i reaktory chemiczne.
4. Przemysł chemiczny: Ze względu na odporność na korozję i stabilność chemiczną pierścienie RTP CVD SiC mogą być stosowane w pojemnikach, rurach i reaktorach w reakcjach chemicznych i procesach katalitycznych.
System Epi
systemu RTP
Układ CVD
Wydajność produktu:
1. Poznaj proces poniżej 28 nm
2. Super odporność na korozję
3. Super czysta wydajność
4. Super twardość
5. Wysoka gęstość
6. Odporność na wysoką temperaturę
7. Odporność na zużycie
Zastosowanie produktu:
Materiały z węglika krzemu charakteryzują się wysoką twardością, odpornością na zużycie, odpornością na korozję i stabilnością w wysokiej temperaturze. Produkty o doskonałej, wszechstronnej wydajności są szeroko stosowane w procesach trawienia na sucho i TF/dyfuzji.
Wydajność produktu:
1. Poznaj proces poniżej 28 nm
2. Super odporność na korozję
3. Super czysta wydajność
4. Super twardość
5. Wysoka gęstość
6. Odporność na wysoką temperaturę
7. Odporność na zużycie
Opracowanie procesu złożonego:
• Grafit + powłoka SiC
• Solide CVD SiC
• Spiekany SiC+CVD
• SicSpiekany SiC
Rozwój wielu typów produktów:
• Pierścień
• Tabela
• Susceptor
• Głowica prysznicowa