SemiceraŁopatki SiCzostały zaprojektowane z myślą o minimalnej rozszerzalności cieplnej, zapewniając stabilność i precyzję w procesach, w których dokładność wymiarowa ma kluczowe znaczenie. Dzięki temu idealnie nadają się do zastosowań, w którychwaflesą poddawane powtarzającym się cyklom ogrzewania i chłodzenia, ponieważ łódź waflowa zachowuje integralność strukturalną, zapewniając stałą wydajność.
Zawiera Semiceręłopatki dyfuzyjne z węglika krzemudo Twojej linii produkcyjnej zwiększą niezawodność Twojego procesu dzięki swoim doskonałym właściwościom termicznym i chemicznym. Łopatki te doskonale nadają się do procesów dyfuzji, utleniania i wyżarzania, zapewniając, że płytki są obsługiwane ostrożnie i precyzyjnie na każdym etapie.
Innowacja jest podstawą SemiceryWiosło SiCprojekt. Łopatki te są dostosowane tak, aby bezproblemowo pasowały do istniejącego sprzętu półprzewodnikowego, zapewniając zwiększoną wydajność obsługi. Lekka konstrukcja i ergonomiczna konstrukcja nie tylko usprawniają transport płytek, ale także skracają przestoje operacyjne, co skutkuje usprawnieniem produkcji.
| Właściwości fizyczne rekrystalizowanego węglika krzemu | |
| Nieruchomość | Typowa wartość |
| Temperatura pracy (°C) | 1600°C (z tlenem), 1700°C (środowisko redukujące) |
| Zawartość SiC | > 99,96% |
| Darmowa zawartość Si | < 0,1% |
| Gęstość nasypowa | 2,60-2,70 g/cm23 |
| Pozorna porowatość | < 16% |
| Siła ściskania | > 600 MPa |
| Wytrzymałość na zginanie na zimno | 80-90 MPa (20°C) |
| Wytrzymałość na zginanie na gorąco | 90-100 MPa (1400°C) |
| Rozszerzalność cieplna przy 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Przewodność cieplna @1200°C | 23 W/m·K |
| Moduł sprężystości | 240 GPa |
| Odporność na szok termiczny | Niezwykle dobre |
