Susceptor pokryty SiC do diod LED Deep UV

Krótki opis:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. jest wiodącym dostawcą zaawansowanej ceramiki półprzewodnikowej. Do naszych głównych produktów należą: tarcze trawione węglikiem krzemu, przyczepy do łodzi z węglika krzemu, statki z płytkami z węglika krzemu (PV i półprzewodniki), rury piecowe z węglika krzemu, łopatki wspornikowe z węglika krzemu, uchwyt z węglika krzemu, belki z węglika krzemu, a także powłoki CVD SiC i Powłoki TaC.

Produkty te są stosowane głównie w przemyśle półprzewodników i fotowoltaiki, np. w hodowli kryształów, epitaksji, trawieniu, pakowaniu, powlekaniu i urządzeniach do pieców dyfuzyjnych.

 

 

 


Szczegóły produktu

Tagi produktów

Opis

Nasza firma świadczy usługi w zakresie powlekania SiC metodą CVD na powierzchni grafitu, ceramiki i innych materiałów, dzięki czemu specjalne gazy zawierające węgiel i krzem reagują w wysokiej temperaturze uzyskując cząsteczki SiC o wysokiej czystości, cząsteczki osadzone na powierzchni powlekanych materiałów, tworząc warstwę ochronną SIC.

6

UV-LED-1

UV-LED-2

Główne cechy

1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze: odporność na utlenianie jest nadal bardzo dobra, gdy temperatura sięga 1600 C.
2. Wysoka czystość: uzyskana przez chemiczne osadzanie z fazy gazowej w warunkach chlorowania w wysokiej temperaturze.
3. Odporność na erozję: wysoka twardość, zwarta powierzchnia, drobne cząstki.
4. Odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC

Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu Faza β FCC
Gęstość g/cm³ 3.21
Twardość Twardość Vickersa 2500
Rozmiar ziarna um 2 ~ 10
Czystość chemiczna % 99,99995
Pojemność cieplna J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura sublimacji 2700
Siła Felexuralna MPa (RT 4-punktowy) 415
Moduł Younga Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃) 430
Rozszerzalność cieplna (CTE) 10-6K-1 4,5
Przewodność cieplna (W/mK) 300
Miejsce pracy Semicery
Miejsce pracy Semicera 2
Maszyna sprzętowa
Obróbka CNN, czyszczenie chemiczne, powlekanie CVD
Nasz serwis

  • Poprzedni:
  • Następny: