Opis
Susceptory waflowe SiC firmy Semicorex do MOCVD (metalowo-organicznego chemicznego osadzania z fazy gazowej) zostały zaprojektowane tak, aby spełniać rygorystyczne wymagania procesów osadzania epitaksjalnego. Wykorzystując wysokiej jakości węglik krzemu (SiC), susceptory te oferują niezrównaną trwałość i wydajność w środowiskach o wysokiej temperaturze i korozyjności, zapewniając precyzyjny i wydajny wzrost materiałów półprzewodnikowych.
Kluczowe funkcje:
1. Doskonałe właściwości materiałuNasze susceptory waflowe, wykonane z wysokiej jakości SiC, wykazują wyjątkową przewodność cieplną i odporność chemiczną. Te właściwości pozwalają im wytrzymać ekstremalne warunki procesów MOCVD, w tym wysokie temperatury i gazy korozyjne, zapewniając długowieczność i niezawodne działanie.
2. Precyzja osadzania epitaksjalnegoPrecyzyjna konstrukcja naszych susceptorów waflowych SiC zapewnia równomierny rozkład temperatury na powierzchni płytki, ułatwiając spójny i wysokiej jakości wzrost warstwy epitaksjalnej. Precyzja ta ma kluczowe znaczenie przy wytwarzaniu półprzewodników o optymalnych właściwościach elektrycznych.
3. Zwiększona trwałośćWytrzymały materiał SiC zapewnia doskonałą odporność na zużycie i degradację, nawet przy ciągłym narażeniu na trudne warunki procesowe. Ta trwałość zmniejsza częstotliwość wymian susceptorów, minimalizując przestoje i koszty operacyjne.
Aplikacje:
Susceptory waflowe SiC firmy Semicorex do MOCVD idealnie nadają się do:
• Wzrost epitaksjalny materiałów półprzewodnikowych
• Wysokotemperaturowe procesy MOCVD
• Produkcja GaN, AlN i innych półprzewodników złożonych
• Zaawansowane zastosowania w produkcji półprzewodników
Główne specyfikacje powłok CVD-SIC:
Korzyści:
•Wysoka precyzja: Zapewnia równomierny i wysokiej jakości wzrost epitaksjalny.
•Długotrwała wydajność: Wyjątkowa trwałość zmniejsza częstotliwość wymiany.
• Efektywność kosztowa: Minimalizuje koszty operacyjne poprzez skrócenie przestojów i konserwacji.
•Wszechstronność: Możliwość dostosowania do różnych wymagań procesu MOCVD.