SemiceraWiosło wspornikowe SiCzostał zaprojektowany, aby sprostać wymaganiom nowoczesnej produkcji półprzewodników. Tenwiosło waflowezapewnia doskonałą wytrzymałość mechaniczną i odporność termiczną, co ma kluczowe znaczenie przy transporcie płytek w środowiskach o wysokiej temperaturze.
Konstrukcja wspornika SiC umożliwia precyzyjne umieszczanie płytek, zmniejszając ryzyko uszkodzenia podczas przenoszenia. Wysoka przewodność cieplna zapewnia stabilność płytki nawet w ekstremalnych warunkach, co ma kluczowe znaczenie dla utrzymania wydajności produkcji.
Oprócz zalet strukturalnych, Semicera'sWiosło wspornikowe SiCoferuje również korzyści w zakresie wagi i trwałości. Lekka konstrukcja ułatwia obsługę i integrację z istniejącymi systemami, a materiał SiC o dużej gęstości zapewnia długotrwałą trwałość w wymagających warunkach.
| Właściwości fizyczne rekrystalizowanego węglika krzemu | |
| Nieruchomość | Typowa wartość |
| Temperatura pracy (°C) | 1600°C (z tlenem), 1700°C (środowisko redukujące) |
| Zawartość SiC | > 99,96% |
| Darmowa zawartość Si | < 0,1% |
| Gęstość nasypowa | 2,60-2,70 g/cm23 |
| Pozorna porowatość | < 16% |
| Siła ściskania | > 600 MPa |
| Wytrzymałość na zginanie na zimno | 80-90 MPa (20°C) |
| Wytrzymałość na zginanie na gorąco | 90-100 MPa (1400°C) |
| Rozszerzalność cieplna przy 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Przewodność cieplna @1200°C | 23 W/m·K |
| Moduł sprężystości | 240 GPa |
| Odporność na szok termiczny | Niezwykle dobre |
