SemiceraPowłoka ceramiczna z węglika krzemuto wysokowydajna powłoka ochronna wykonana z niezwykle twardego i odpornego na zużycie materiału węglika krzemu (SiC). Powłoka nanoszona jest zazwyczaj na powierzchnię podłoża metodą CVD lub PVDcząstki węglika krzemu, zapewniając doskonałą odporność na korozję chemiczną i stabilność w wysokiej temperaturze. Dlatego powłoka ceramiczna z węglika krzemu jest szeroko stosowana w kluczowych elementach sprzętu do produkcji półprzewodników.
W produkcji półprzewodnikówPowłoka SiCmoże wytrzymać ekstremalnie wysokie temperatury do 1600°C, dlatego powłoka ceramiczna z węglika krzemu jest często stosowana jako warstwa ochronna sprzętu lub narzędzi, aby zapobiec uszkodzeniom w środowiskach o wysokiej temperaturze lub korozyjnym.
Naraz,powłoka ceramiczna z węglika krzemumoże wytrzymać erozję kwasów, zasad, tlenków i innych odczynników chemicznych oraz ma wysoką odporność na korozję w stosunku do różnych substancji chemicznych. Dlatego ten produkt nadaje się do różnych środowisk korozyjnych w przemyśle półprzewodników.
Co więcej, w porównaniu z innymi materiałami ceramicznymi, SiC ma wyższą przewodność cieplną i może skutecznie przewodzić ciepło. Cecha ta decyduje o tym, że w procesach półprzewodnikowych wymagających precyzyjnej kontroli temperatury, wysoka przewodność cieplnaPowłoka ceramiczna z węglika krzemupomaga równomiernie rozprowadzić ciepło, zapobiega miejscowemu przegrzaniu i zapewnia pracę urządzenia w optymalnej temperaturze.
| Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD | |
| Nieruchomość | Typowa wartość |
| Struktura kryształu | Polikrystaliczna faza β FCC, głównie zorientowana na (111). |
| Gęstość | 3,21 g/cm3 |
| Twardość | Twardość 2500 Vickersa (obciążenie 500 g) |
| ROZMIAR ZIARNA | 2 ~ 10 μm |
| Czystość chemiczna | 99,99995% |
| Pojemność cieplna | 640 J·kg-1·K-1 |
| Temperatura sublimacji | 2700 ℃ |
| Wytrzymałość na zginanie | 415 MPa RT 4-punktowy |
| Moduł Younga | Zakręt 430 GPa, 1300 ℃ |
| Przewodność cieplna | 300W·m-1·K-1 |
| Rozszerzalność cieplna (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
