Susceptor grafitowy z powłoką z węglika krzemu

Krótki opis:

Susceptor grafitowy z powłoką z węglika krzemu firmy Semicera Semiconductor zapewnia wyjątkową przewodność cieplną i trwałość w zastosowaniach epitaksyjnych. Polegaj na firmie Semicera w zakresie zaawansowanych susceptorów zaprojektowanych w celu usprawnienia procesów epitaksjalnych dzięki doskonałej technologii powlekania SiC.

Wyślij e-mail do nas

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Opis

Susceptory grafitowe pokryte SiC firmy Semicera zostały zaprojektowane przy użyciu wysokiej jakości podłoży grafitowych, które są starannie powlekane węglikiem krzemu (SiC) w ramach zaawansowanych procesów chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Ta innowacyjna konstrukcja zapewnia wyjątkową odporność na szok termiczny i degradację chemiczną, znacznie wydłużając żywotność grafitowego susceptora pokrytego SiC i gwarantując niezawodne działanie w całym procesie produkcji półprzewodników.

Kluczowe cechy:

1. Doskonała przewodność cieplnaSusceptor grafitowy pokryty SiC wykazuje wyjątkową przewodność cieplną, która ma kluczowe znaczenie dla wydajnego rozpraszania ciepła podczas produkcji półprzewodników. Ta cecha minimalizuje gradienty termiczne na powierzchni płytki, zapewniając równomierny rozkład temperatury niezbędny do osiągnięcia pożądanych właściwości półprzewodników.

2. Solidna odporność chemiczna i termicznaPowłoka SiC zapewnia doskonałą ochronę przed korozją chemiczną i szokiem termicznym, utrzymując integralność grafitowego susceptora nawet w trudnych warunkach przetwarzania. Ta zwiększona trwałość skraca przestoje i wydłuża żywotność, przyczyniając się do zwiększenia produktywności i efektywności kosztowej w zakładach produkujących półprzewodniki.

3. Dostosowanie do konkretnych potrzebNasze susceptory grafitowe pokryte SiC można dostosować do konkretnych wymagań i preferencji. Oferujemy szereg opcji dostosowywania, w tym regulację rozmiaru i różnice w grubości powłoki, aby zapewnić elastyczność projektowania i optymalizację wydajności dla różnych zastosowań i parametrów procesu.

Aplikacje:

Zastosowania Powłoki Semicera SiC są wykorzystywane na różnych etapach produkcji półprzewodników, w tym:
1. -Wytwarzanie chipów LED
2. -Produkcja polikrzemu
3. -Wzrost kryształów półprzewodników
4. - Epitaksja krzemu i SiC
5. -Utlenianie i dyfuzja termiczna (TO&D)