Podłoża z węglika krzemu|Płytki SiC

Krótki opis:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. jest wiodącym dostawcą specjalizującym się w płytkach i zaawansowanych materiałach eksploatacyjnych do półprzewodników. Naszym celem jest dostarczanie wysokiej jakości, niezawodnych i innowacyjnych produktów do produkcji półprzewodników, przemysłu fotowoltaicznego i innych pokrewnych dziedzin.

Nasza linia produktów obejmuje produkty grafitowe powlekane SiC/TaC i produkty ceramiczne, obejmujące różne materiały, takie jak węglik krzemu, azotek krzemu i tlenek glinu itp.

Obecnie jesteśmy jedynym producentem oferującym powłokę SiC o czystości 99,9999% i 99,9% rekrystalizowanego węglika krzemu. Maksymalna długość powłoki SiC, jaką możemy wykonać, to 2640 mm.

Wyślij e-mail do nas

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Materiał monokrystaliczny z węglika krzemu (SiC) ma dużą szerokość pasma wzbronionego (~Si 3 razy), wysoką przewodność cieplną (~Si 3,3 razy lub GaAs 10 razy), wysoki współczynnik migracji nasycenia elektronami (~Si 2,5 razy), wysoki współczynnik przebicia elektrycznego pole (~Si 10 razy lub GaAs 5 razy) i inne wyjątkowe właściwości.

Urządzenia SiC mają niezastąpione zalety w zakresie urządzeń elektronicznych o wysokiej temperaturze, wysokim ciśnieniu, wysokiej częstotliwości i dużej mocy oraz w ekstremalnych zastosowaniach środowiskowych, takich jak przemysł lotniczy, wojskowy, energia jądrowa itp., W praktyce nadrabiają wady tradycyjnych urządzeń z materiałów półprzewodnikowych zastosowaniach i stopniowo stają się głównym nurtem półprzewodników mocy.

Specyfikacje podłoża z węglika krzemu 4H-SiC

Pozycja	Dane techniczne
Polityp 晶型	4H-SiC	6H-SiC
Średnica 晶圆直径	2 cale \| 3 cale \| 4 cale \| 6 cali	2 cale \| 3 cale \| 4 cale \| 6 cali
Grubość 厚度	330 μm ~ 350 μm	330 μm ~ 350 μm
Przewodność 导电类型	Typ N / Półizolacyjny N型导电片/ 半绝缘片	Typ N / Półizolacyjny N型导电片/ 半绝缘片
Domieszka 掺杂剂	N2 (azot)V (wanad)	N2 ( azot ) V ( wanad )
Orientacja 晶向	Na osi <0001> Poza osią <0001> odchyloną o 4°	Na osi <0001> Poza osią <0001> odchyloną o 4°
Oporność 电阻率	0,015 ~ 0,03 om-cm (4H-N)	0,02 ~ 0,1 om-cm (6H-N)
Gęstość mikrorurki (MPD) 微管密度	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 µm	≤ 15 µm
Łuk / Osnowa 翘曲度	≤25 μm	≤25 μm
Powierzchnia 表面处理	DSP/SSP	DSP/SSP
Stopień 产品等级	Stopień produkcyjny/badawczy	Stopień produkcyjny/badawczy
Sekwencja układania kryształów 堆积方式	ABCB	ABCABC
Parametr sieci 晶格参数	a=3,076A, c=10,053A	a=3,073A, c=15,117A
Np/eV (przerwa wzbroniona) 禁带宽度	3,27 eV	3,02 eV
ε (stała dielektryczna) 介电常数	9.6	9,66
Współczynnik załamania 折射率	n0 =2,719 ne =2,777	n0 =2,707, ne =2,755

Specyfikacje podłoża z węglika krzemu 6H-SiC

Pozycja	Dane techniczne
Polityp 晶型	6H-SiC
Średnica 晶圆直径	4 cale \| 6 cali
Grubość 厚度	350μm ~ 450μm
Przewodność 导电类型	Typ N / Półizolacyjny N型导电片/ 半绝缘片
Domieszka 掺杂剂	N2 (azot) V ( wanad )
Orientacja 晶向	<0001> wył. 4°± 0,5°
Oporność 电阻率	0,02 ~ 0,1 om-cm (typ 6H-N)
Gęstość mikrorurki (MPD) 微管密度	≤ 10/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 µm
Łuk / Osnowa 翘曲度	≤25 μm
Powierzchnia 表面处理	Si Face: CMP, Epi-Ready Twarz C: Poler optyczny
Stopień 产品等级	Stopień badawczy