Przegląd produktu
TheŁopatka i nośnik płytki z węglika krzemu impregnowanego krzemem (SiC)został zaprojektowany tak, aby spełniać rygorystyczne wymagania zastosowań związanych z obróbką cieplną półprzewodników. Wykonany z wysokiej czystości SiC i ulepszony poprzez impregnację silikonem, produkt ten oferuje unikalne połączenie wydajności w wysokich temperaturach, doskonałej przewodności cieplnej, odporności na korozję i wyjątkowej wytrzymałości mechanicznej.
Dzięki integracji zaawansowanej inżynierii materiałowej z precyzyjną produkcją rozwiązanie to zapewnia producentom półprzewodników doskonałą wydajność, niezawodność i trwałość.
Kluczowe funkcje
1.Wyjątkowa odporność na wysoką temperaturę
Dzięki temperaturze topnienia przekraczającej 2700°C materiały SiC są z natury stabilne w ekstremalnych temperaturach. Impregnacja silikonowa dodatkowo zwiększa ich stabilność termiczną, pozwalając im wytrzymać długotrwałe narażenie na wysokie temperatury bez osłabienia konstrukcji lub pogorszenia wydajności.
2.Doskonała przewodność cieplna
Wyjątkowa przewodność cieplna SiC impregnowanego krzemem zapewnia równomierny rozkład ciepła, zmniejszając naprężenia termiczne podczas krytycznych etapów przetwarzania. Ta właściwość wydłuża żywotność sprzętu i minimalizuje przestoje w produkcji, dzięki czemu idealnie nadaje się do obróbki cieplnej w wysokiej temperaturze.
3.Odporność na utlenianie i korozję
Wytrzymała warstwa tlenku krzemu tworzy się naturalnie na powierzchni, zapewniając wyjątkową odporność na utlenianie i korozję. Zapewnia to długoterminową niezawodność w trudnych warunkach pracy, chroniąc zarówno materiał, jak i otaczające komponenty.
4.Wysoka wytrzymałość mechaniczna i odporność na zużycie
Impregnowany krzemem SiC charakteryzuje się doskonałą wytrzymałością na ściskanie i odpornością na zużycie, zachowując integralność strukturalną w warunkach dużego obciążenia i wysokiej temperatury. Zmniejsza to ryzyko uszkodzeń związanych ze zużyciem, zapewniając stałą wydajność w dłuższych cyklach użytkowania.
Dane techniczne
| Nazwa produktu | SC-RSiC-Si |
| Tworzywo | Impregnacja silikonem Węglik krzemu Compact (wysoka czystość) |
| Aplikacje | Części do obróbki cieplnej półprzewodników, części sprzętu do produkcji półprzewodników |
| Formularz dostawy | Formowany korpus (korpus spiekany) |
| Kompozycja | Własność mechaniczna | Moduł Younga (GPa) | Wytrzymałość na zginanie (MPa) | ||
| Skład (% obj.) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Gęstość nasypowa (kg/m3) | 3,02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Temperatura żaroodporna°C | 1350 | Współczynnik Poissona | 0,18 (RT) | ||
| Właściwości termiczne | Przewodność cieplna (W/(m · K)) | Specyficzna pojemność cieplna (kJ/(kg·K)) | Współczynnik rozszerzalności cieplnej (1/K) | ||
| RT | 220 | 0,7 | Temperatura otoczenia~700°C | 3,4x10-6 | |
| 700°C | 60 | 1,23 | 700~1200°C | 4,3x10-6 | |
| Zawartość zanieczyszczeń ((ppm) | |||||||||||||
| Element | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Szybkość treści | 3 | <2 | <0,5 | <0,1 | <1 | 5 | 0,3 | <0,1 | <0,1 | <0,1 | <0,3 | <0,3 | 25 |
Aplikacje
▪Obróbka termiczna półprzewodników:Idealny do procesów takich jak chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD), wzrost epitaksjalny i wyżarzanie, gdzie krytyczna jest precyzyjna kontrola temperatury i trwałość materiału.
▪Nośniki i wiosła waflowe:Zaprojektowane do bezpiecznego przechowywania i transportu płytek podczas obróbki cieplnej w wysokiej temperaturze.
▪Ekstremalne środowiska operacyjne: Nadaje się do zastosowań wymagających odporności na ciepło, narażenie chemiczne i naprężenia mechaniczne.
Zalety SiC impregnowanego silikonem
Połączenie wysokiej czystości węglika krzemu i zaawansowanej technologii impregnacji krzemem zapewnia niezrównane korzyści w zakresie wydajności:
▪Precyzja:Zwiększa dokładność i kontrolę przetwarzania półprzewodników.
▪Stabilność:Wytrzymuje trudne warunki bez uszczerbku dla funkcjonalności.
▪Długowieczność:Wydłuża żywotność sprzętu do produkcji półprzewodników.
▪Efektywność:Poprawia produktywność, zapewniając wiarygodne i spójne wyniki.
Dlaczego warto wybrać nasze rozwiązania SiC impregnowane silikonem?
At Semiceraspecjalizujemy się w dostarczaniu wysokowydajnych rozwiązań dostosowanych do potrzeb producentów półprzewodników. Nasze łopatki i nośniki płytek z impregnowanego krzemem silikonu przechodzą rygorystyczne testy i zapewniają jakość, aby spełnić standardy branżowe. Wybierając Semicerę zyskujesz dostęp do najnowocześniejszych materiałów zaprojektowanych z myślą o optymalizacji procesów produkcyjnych i zwiększeniu Twoich możliwości produkcyjnych.
Dane techniczne
▪Skład materiału:Węglik krzemu o wysokiej czystości impregnowany krzemem.
▪Zakres temperatury roboczej:Do 2700°C.
▪ Przewodność cieplna:Wyjątkowo wysoka, zapewniająca równomierną dystrybucję ciepła.
▪Właściwości wytrzymałościowe:Odporny na utlenianie, korozję i zużycie.
▪Aplikacje:Kompatybilny z różnymi półprzewodnikowymi systemami obróbki termicznej.
Skontaktuj się z nami
Chcesz ulepszyć proces produkcji półprzewodników? KontaktSemicerajuż dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszej łopatce i nośniku płytki z węglika krzemu impregnowanego silikonem.
▪E-mail: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Telefon: +86-0574-8650 3783
▪Lokalizacja:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, Zone, prowincja Zhejiang, 315201, Chiny
