Semicera dostarcza specjalistyczne powłoki z węglika tantalu (TaC) do różnych komponentów i nośników.Wiodący proces powlekania firmy Semicera umożliwia powłokom z węglika tantalu (TaC) osiągnięcie wysokiej czystości, wysokiej stabilności temperaturowej i wysokiej tolerancji chemicznej, poprawiając jakość produktu kryształów SIC/GAN i warstw EPI (Susceptor TaC pokryty grafitem) i wydłużenie żywotności kluczowych elementów reaktora.Zastosowanie powłoki TaC z węglika tantalu ma na celu rozwiązanie problemu krawędzi i poprawę jakości wzrostu kryształów, a Semicera dokonała przełomowego rozwiązania technologii powlekania węglikiem tantalu (CVD), osiągając międzynarodowy poziom zaawansowany.
Węglik krzemu (SiC) jest kluczowym materiałem trzeciej generacji półprzewodników, ale jego współczynnik plastyczności jest czynnikiem ograniczającym rozwój branży.Po szeroko zakrojonych testach w laboratoriach Semicera stwierdzono, że natryskiwanemu i spiekanemu TaC brakuje niezbędnej czystości i jednorodności.Natomiast proces CVD zapewnia poziom czystości 5 PPM i doskonałą jednorodność.Zastosowanie CVD TaC znacząco poprawia stopę plastyczności płytek węglika krzemu.Zapraszamy do dyskusjiTrzysegmentowe pierścienie grafitowe powlekane TaC w celu dalszego obniżenia kosztów płytek SiC.
Po latach rozwoju Semicera podbiła technologięCVD TaCdzięki wspólnym wysiłkom działu badawczo-rozwojowego.Wady łatwo powstają w procesie wzrostu płytek SiC, ale już po ich użyciuTaC, różnica jest znacząca.Poniżej znajduje się porównanie płytek z i bez TaC, a także części Simicery do wzrostu monokryształów.
z TaC i bez
Po użyciu TaC (po prawej)
Poza tym SemiceraProdukty powlekane TaCwykazują dłuższą żywotność i większą odporność na wysoką temperaturę w porównaniu doPowłoki SiC.Pomiary laboratoryjne wykazały, że naszePowłoki TaCmoże stale pracować w temperaturach do 2300 stopni Celsjusza przez dłuższy czas.Poniżej kilka przykładów naszych próbek:
