Trzysegmentowe pierścienie grafitowe powlekane TaC

Pokazane na zdjęciu trzysegmentowe pierścienie z grafitu powlekanego TaC

Krótki opis:

Węglik krzemu (SiC) jest kluczowym materiałem trzeciej generacji półprzewodników, ale jego współczynnik plastyczności jest czynnikiem ograniczającym rozwój branży. Po szeroko zakrojonych testach w laboratoriach Semicera stwierdzono, że natryskiwanemu i spiekanemu TaC brakuje niezbędnej czystości i jednorodności. Natomiast proces CVD zapewnia poziom czystości 5 PPM i doskonałą jednorodność. Zastosowanie CVD TaC znacząco poprawia stopę plastyczności płytek węglika krzemu. Zapraszamy do dyskusjiTrzysegmentowe pierścienie grafitowe powlekane TaC w celu dalszego obniżenia kosztów płytek SiC.

Wyślij e-mail do nas

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Semicera dostarcza specjalistyczne powłoki z węglika tantalu (TaC) do różnych komponentów i nośników.Wiodący proces powlekania firmy Semicera umożliwia powłokom z węglika tantalu (TaC) osiągnięcie wysokiej czystości, wysokiej stabilności temperaturowej i wysokiej tolerancji chemicznej, poprawiając jakość produktu kryształów SIC/GAN i warstw EPI (Susceptor TaC pokryty grafitem) i wydłużenie żywotności kluczowych elementów reaktora. Zastosowanie powłoki TaC z węglika tantalu ma na celu rozwiązanie problemu krawędzi i poprawę jakości wzrostu kryształów, a Semicera dokonała przełomowego rozwiązania technologii powlekania węglikiem tantalu (CVD), osiągając międzynarodowy poziom zaawansowany.

Po latach rozwoju Semicera podbiła technologięCVD TaCdzięki wspólnym wysiłkom działu badawczo-rozwojowego. Wady łatwo powstają w procesie wzrostu płytek SiC, ale już po ich użyciuTaC, różnica jest znacząca. Poniżej znajduje się porównanie płytek z i bez TaC, a także części Simicery do wzrostu monokryształów.

Wysokowydajna powłoka z węglika tantalu_ poprawia wydajność produkcji przemysłowej i zmniejsza koszty konserwacji. Wyróżniony obraz

Część taktyczna do wzrostu monokryształu

Przeciwzużyciowa powłoka z węglika tantalu_ Chroni sprzęt przed zużyciem i korozją. Zdjęcie główne

Grafit z pierścieniem pokrytym TaC

z TaC i bez

Po użyciu TaC (po prawej)

Poza tym SemiceraProdukty powlekane TaCwykazują dłuższą żywotność i większą odporność na wysoką temperaturę w porównaniu doPowłoki SiC.Pomiary laboratoryjne wykazały, że naszePowłoki TaCmoże stale pracować w temperaturach do 2300 stopni Celsjusza przez dłuższy czas. Poniżej kilka przykładów naszych próbek: