Pierścienie prowadzące z grafitu pokrytego TaCodnoszą się do osadzania cienkiej warstwywęglik tantaluna powierzchni grafitowego pierścienia prowadzącego w celu poprawy jego odporności na zużycie, odporności na wysoką temperaturę i stabilności chemicznej. Powłoka ta jest zwykle tworzona na powierzchni grafitowego pierścienia prowadzącego za pomocą technik takich jak fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD) lub chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD).
Semicera dostarcza specjalistyczne powłoki z węglika tantalu (TaC) do różnych komponentów i nośników.Wiodący proces powlekania firmy Semicera umożliwia powłokom z węglika tantalu (TaC) osiągnięcie wysokiej czystości, wysokiej stabilności temperaturowej i wysokiej tolerancji chemicznej, poprawiając jakość produktu kryształów SIC/GAN i warstw EPI (Susceptor TaC pokryty grafitem) i wydłużenie żywotności kluczowych elementów reaktora. Zastosowanie powłoki TaC z węglika tantalu ma na celu rozwiązanie problemu krawędzi i poprawę jakości wzrostu kryształów, a Semicera dokonała przełomowego rozwiązania technologii powlekania węglikiem tantalu (CVD), osiągając międzynarodowy poziom zaawansowany.
Po latach rozwoju Semicera podbiła technologięCVD TaCdzięki wspólnym wysiłkom działu badawczo-rozwojowego. Wady łatwo powstają w procesie wzrostu płytek SiC, ale już po ich użyciuTaC, różnica jest znacząca. Poniżej znajduje się porównanie płytek z i bez TaC, a także części Simicery do wzrostu monokryształów.
Główne cechy pierścieni prowadzących z grafitu powlekanego TaC obejmują:
1. Odporność na wysoką temperaturę: powłoka TaC ma doskonałą stabilność w wysokich temperaturach i może utrzymać stabilność w środowiskach o wysokiej temperaturze.
2. Odporność na zużycie: Wysoka twardość cienkiej warstwy węglika tantalu zapewnia pierścieniowi prowadzącemu dobrą odporność na zużycie i wydłuża jego żywotność.
3. Stabilność chemiczna: Powłoka TaC ma wysoką odporność na korozję chemiczną, dzięki czemu nadaje się do zastosowań w niektórych mediach korozyjnych.
4. Zmniejsz tarcie: powłoka TaC może skutecznie zmniejszyć tarcie między grafitowym pierścieniem prowadzącym a innymi elementami i poprawić wydajność uszczelnień mechanicznych.
z TaC i bez
Po użyciu TaC (po prawej)
Poza tym SemiceraProdukty powlekane TaCwykazują dłuższą żywotność i większą odporność na wysoką temperaturę w porównaniu doPowłoki SiC.Pomiary laboratoryjne wykazały, że naszePowłoki TaCmoże stale pracować w temperaturach do 2300 stopni Celsjusza przez dłuższy czas. Poniżej kilka przykładów naszych próbek:
