TaC Coated Plate to wyspecjalizowana tarcza przeznaczona do stosowania w procesach epitaksjalnych SiC, wykonana z precyzją z wysokiej jakości materiału grafitowego. Jego powierzchnia jest starannie pokryta węglikiem tantalu (TaC), związkiem znanym z wyjątkowej czystości i wytrzymałości. Powłoka TaC zwiększa trwałość i odporność płyty na wysokie temperatury, dzięki czemu idealnie nadaje się do wymagających warunków procesów epitaksjalnych SiC.
Ta innowacyjna płytka pokryta TaC to wyspecjalizowana tarcza przeznaczona do stosowania w procesach epitaksjalnych SiC, wykonana z precyzją z wysokiej jakości materiału grafitowego. Powierzchnia płyty pokryta TaC jest starannie pokryta węglikiem tantalu (TaC), związkiem znanym z wyjątkowej czystości i wytrzymałości. służy jako niezawodna platforma do przenoszenia płytek podczas różnych etapów wzrostu epitaksjalnego SiC. Baza z grafitu o wysokiej czystości zapewnia stabilną i obojętną powierzchnię, a powłoka TaC zapewnia dodatkową warstwę ochrony przed reakcjami chemicznymi i zużyciem.
SemickieeraPłyta powlekana TaC jest dostosowywana do specyficznych wymagań klientów, zapewniając optymalną wydajność i kompatybilność z ich systemami epitaksjalnymi SiC. Niezależnie od tego, czy chodzi o rozmiar, kształt czy inne specyfikacje, płyty te są dostosowane do unikalnych potrzeb każdego zastosowania.
z TaC i bez
Po użyciu TaC (po prawej)
Poza tym SemiceraProdukty powlekane TaCwykazują dłuższą żywotność i większą odporność na wysoką temperaturę w porównaniu doPowłoki SiC.Pomiary laboratoryjne wykazały, że naszePowłoki TaCmoże stale pracować w temperaturach do 2300 stopni Celsjusza przez dłuższy czas. Poniżej kilka przykładów naszych próbek:
