Semicera dostarcza specjalistyczne powłoki z węglika tantalu (TaC) do różnych komponentów i nośników.Wiodący proces powlekania firmy Semicera umożliwia powłokom z węglika tantalu (TaC) osiągnięcie wysokiej czystości, wysokiej stabilności temperaturowej i wysokiej tolerancji chemicznej, poprawiając jakość produktu kryształów SIC/GAN i warstw EPI (Susceptor TaC pokryty grafitem) i wydłużenie żywotności kluczowych elementów reaktora. Zastosowanie powłoki TaC z węglika tantalu ma na celu rozwiązanie problemu krawędzi i poprawę jakości wzrostu kryształów, a Semicera dokonała przełomowego rozwiązania technologii powlekania węglikiem tantalu (CVD), osiągając międzynarodowy poziom zaawansowany.
Nośniki płytek pokryte węglikiem tantalu są szeroko stosowane w procesach przetwarzania i przenoszenia płytek w procesach produkcji półprzewodników. Zapewniają stabilne wsparcie i ochronę, aby zapewnić bezpieczeństwo, dokładność i spójność płytek podczas procesu produkcyjnego. Powłoki z węglika tantalu mogą przedłużyć żywotność nośnika, obniżyć koszty oraz poprawić jakość i niezawodność produktów półprzewodnikowych.
Opis nośnika waflowego pokrytego węglikiem tantalu jest następujący:
1. Wybór materiału: Węglik tantalu to materiał o doskonałych parametrach, wysokiej twardości, wysokiej temperaturze topnienia, odporności na korozję i doskonałych właściwościach mechanicznych, dlatego jest szeroko stosowany w procesie produkcji półprzewodników.
2. Powłoka powierzchniowa: Powłokę z węglika tantalu nakłada się na powierzchnię nośnika płytki w specjalnym procesie powlekania, tworząc jednolitą i gęstą powłokę z węglika tantalu. Powłoka ta może zapewnić dodatkową ochronę i odporność na zużycie, mając jednocześnie dobrą przewodność cieplną.
3. Płaskość i precyzja: Nośnik płytek pokryty węglikiem tantalu charakteryzuje się wysokim stopniem płaskości i precyzji, zapewniając stabilność i dokładność płytek podczas procesu produkcyjnego. Płaskość i wykończenie powierzchni nośnej mają kluczowe znaczenie dla zapewnienia jakości i wydajności płytki.
4. Stabilność temperaturowa: Nośniki płytek pokryte węglikiem tantalu mogą utrzymać stabilność w środowiskach o wysokiej temperaturze bez deformacji lub poluzowania, zapewniając stabilność i konsystencję płytek w procesach wysokotemperaturowych.
5. Odporność na korozję: Powłoki z węglika tantalu mają doskonałą odporność na korozję, są odporne na erozję chemikaliów i rozpuszczalników oraz chronią nośnik przed korozją cieczową i gazową.
z TaC i bez
Po użyciu TaC (po prawej)
Poza tym SemiceraProdukty powlekane TaCwykazują dłuższą żywotność i większą odporność na wysoką temperaturę w porównaniu doPowłoki SiC.Pomiary laboratoryjne wykazały, że naszePowłoki TaCmoże stale pracować w temperaturach do 2300 stopni Celsjusza przez dłuższy czas. Poniżej kilka przykładów naszych próbek:
