Arkusz grafitowy pokryty węglikiem tantalujest materiałem grafitowym o cienkiej warstwiewęglik tantaluna powierzchni podłoża. Cienka warstwa węglika tantalu jest zwykle formowana na powierzchni podłoża grafitowego za pomocą technik takich jak fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD) lub chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD). Powłoka ta ma doskonałe właściwości, takie jak wysoka twardość, doskonała odporność na zużycie, odporność na korozję i stabilność w wysokiej temperaturze.
Semicera dostarcza specjalistyczne powłoki z węglika tantalu (TaC) do różnych komponentów i nośników.Wiodący proces powlekania firmy Semicera umożliwia powłokom z węglika tantalu (TaC) osiągnięcie wysokiej czystości, wysokiej stabilności temperaturowej i wysokiej tolerancji chemicznej, poprawiając jakość produktu kryształów SIC/GAN i warstw EPI (Susceptor TaC pokryty grafitem) i wydłużenie żywotności kluczowych elementów reaktora. Zastosowanie powłoki TaC z węglika tantalu ma na celu rozwiązanie problemu krawędzi i poprawę jakości wzrostu kryształów, a Semicera dokonała przełomowego rozwiązania technologii powlekania węglikiem tantalu (CVD), osiągając międzynarodowy poziom zaawansowany.
Po latach rozwoju Semicera podbiła technologięCVD TaCdzięki wspólnym wysiłkom działu badawczo-rozwojowego. Wady łatwo powstają w procesie wzrostu płytek SiC, ale już po ich użyciuTaC, różnica jest znacząca. Poniżej znajduje się porównanie płytek z i bez TaC, a także części Simicery do wzrostu monokryształów.
Główne zalety blachy grafitowej pokrytej węglikiem tantalu obejmują:
1. Odporność na wysoką temperaturę: węglik tantalu ma wysoką temperaturę topnienia i doskonałą stabilność w wysokich temperaturach, dzięki czemu powlekany arkusz grafitowy nadaje się do stosowania w środowiskach o wysokiej temperaturze.
2. Odporność na korozję: Powłoka z węglika tantalu jest odporna na erozję wielu chemicznych substancji korozyjnych i wydłuża żywotność materiału.
3. Wysoka twardość: Wysoka twardość cienkiej warstwy węglika tantalu zapewnia dobrą odporność na zużycie i nadaje się do zastosowań wymagających wysokiej odporności na zużycie.
4. Stabilność chemiczna: Powłoka z węglika tantalu ma doskonałą odporność na korozję chemiczną i nadaje się do stosowania w niektórych mediach korozyjnych.
z TaC i bez
Po użyciu TaC (po prawej)
Poza tym SemiceraProdukty powlekane TaCwykazują dłuższą żywotność i większą odporność na wysoką temperaturę w porównaniu doPowłoki SiC.Pomiary laboratoryjne wykazały, że naszePowłoki TaCmoże stale pracować w temperaturach do 2300 stopni Celsjusza przez dłuższy czas. Poniżej kilka przykładów naszych próbek:
