Płyta nośna susceptora pokryta węglikiem tantalujest podporą lub konstrukcją wsporczą pokrytą cienką warstwąwęglik tantalu. Powłokę tę można uformować na powierzchni susceptora za pomocą technik takich jak fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD) lub chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD), nadając susceptorowi doskonałe właściwościwęglik tantalu.
Semicera dostarcza specjalistyczne powłoki z węglika tantalu (TaC) do różnych komponentów i nośników.Wiodący proces powlekania firmy Semicera umożliwia powłokom z węglika tantalu (TaC) osiągnięcie wysokiej czystości, wysokiej stabilności temperaturowej i wysokiej tolerancji chemicznej, poprawiając jakość produktu kryształów SIC/GAN i warstw EPI (Susceptor TaC pokryty grafitem) i wydłużenie żywotności kluczowych elementów reaktora. Zastosowanie powłoki TaC z węglika tantalu ma na celu rozwiązanie problemu krawędzi i poprawę jakości wzrostu kryształów, a Semicera dokonała przełomowego rozwiązania technologii powlekania węglikiem tantalu (CVD), osiągając międzynarodowy poziom zaawansowany.
Po latach rozwoju Semicera podbiła technologięCVD TaCdzięki wspólnym wysiłkom działu badawczo-rozwojowego. Wady łatwo powstają w procesie wzrostu płytek SiC, ale już po ich użyciuTaC, różnica jest znacząca. Poniżej znajduje się porównanie płytek z i bez TaC, a także części Simicery do wzrostu monokryształów.
Główne cechy podstawowych płyt nośnych pokrytych węglikiem tantalu obejmują:
1. Stabilność w wysokiej temperaturze: Węglik tantalu ma doskonałą stabilność w wysokich temperaturach, dzięki czemu powlekana płyta nośna podstawy nadaje się do wsparcia w środowiskach pracy o wysokiej temperaturze.
2. Odporność na korozję: Powłoka z węglika tantalu ma dobrą odporność na korozję, jest odporna na korozję chemiczną i utlenianie oraz wydłuża żywotność podstawy.
3. Wysoka twardość i odporność na zużycie: Wysoka twardość powłoki z węglika tantalu zapewnia płycie nośnej podstawy dobrą odporność na zużycie, co jest odpowiednie w sytuacjach wymagających dużej odporności na zużycie.
4. Stabilność chemiczna: Węglik tantalu ma wysoką stabilność w stosunku do różnych substancji chemicznych, dzięki czemu powlekana płyta nośna podstawy dobrze sprawdza się w niektórych środowiskach korozyjnych.
z TaC i bez
Po użyciu TaC (po prawej)
Poza tym SemiceraProdukty powlekane TaCwykazują dłuższą żywotność i większą odporność na wysoką temperaturę w porównaniu doPowłoki SiC.Pomiary laboratoryjne wykazały, że naszePowłoki TaCmoże stale pracować w temperaturach do 2300 stopni Celsjusza przez dłuższy czas. Poniżej kilka przykładów naszych próbek:
