Semicera dostarcza specjalistyczne powłoki z węglika tantalu (TaC) do różnych komponentów i nośników.Wiodący proces powlekania firmy Semicera umożliwia powłokom z węglika tantalu (TaC) osiągnięcie wysokiej czystości, wysokiej stabilności temperaturowej i wysokiej tolerancji chemicznej, poprawiając jakość produktu kryształów SIC/GAN i warstw EPI (Susceptor TaC pokryty grafitem) i wydłużenie żywotności kluczowych elementów reaktora. Zastosowanie powłoki TaC z węglika tantalu ma na celu rozwiązanie problemu krawędzi i poprawę jakości wzrostu kryształów, a Semicera dokonała przełomowego rozwiązania technologii powlekania węglikiem tantalu (CVD), osiągając międzynarodowy poziom zaawansowany.
Grafit jest doskonałym materiałem wysokotemperaturowym, ale łatwo utlenia się w wysokich temperaturach. Nawet w piecach próżniowych z gazem obojętnym może nadal ulegać powolnemu utlenianiu. Zastosowanie powłoki CVD z węglika tantalu (TaC) może skutecznie chronić podłoże grafitowe, zapewniając taką samą odporność na wysokie temperatury jak grafit. TaC jest również materiałem obojętnym, co oznacza, że w wysokich temperaturach nie będzie reagował z gazami takimi jak argon czy wodór.ZapytanieSusceptor EPI z powłoką CVD z węglika tantalu Teraz!
Po latach rozwoju Semicera podbiła technologięCVD TaCdzięki wspólnym wysiłkom działu badawczo-rozwojowego. Wady łatwo powstają w procesie wzrostu płytek SiC, ale już po ich użyciuTaC, różnica jest znacząca. Poniżej znajduje się porównanie płytek z i bez TaC, a także części Simicery do wzrostu monokryształów.
z TaC i bez
Po użyciu TaC (po prawej)
Poza tym SemiceraProdukty powlekane TaCwykazują dłuższą żywotność i większą odporność na wysoką temperaturę w porównaniu doPowłoki SiC.Pomiary laboratoryjne wykazały, że naszePowłoki TaCmoże stale pracować w temperaturach do 2300 stopni Celsjusza przez dłuższy czas. Poniżej kilka przykładów naszych próbek:
