SemiceraKaseta waflowato kluczowy element procesu produkcji półprzewodników, zaprojektowany do bezpiecznego przechowywania i transportu delikatnych płytek półprzewodnikowych. TheKaseta waflowazapewnia wyjątkową ochronę, zapewniając, że każda płytka jest wolna od zanieczyszczeń i uszkodzeń fizycznych podczas przenoszenia, przechowywania i transportu.
Semicera jest wykonana z materiałów o wysokiej czystości i odpornych na chemikaliaKaseta waflowagwarantuje najwyższy poziom czystości i trwałości, niezbędny do zachowania integralności wafli na każdym etapie produkcji. Precyzyjna konstrukcja tych kaset pozwala na bezproblemową integrację z zautomatyzowanymi systemami obsługi, minimalizując ryzyko zanieczyszczenia i uszkodzeń mechanicznych.
ProjektKaseta waflowawspiera także optymalną kontrolę przepływu powietrza i temperatury, co jest kluczowe w procesach wymagających specyficznych warunków środowiskowych. Niezależnie od tego, czy jest stosowany w pomieszczeniach czystych, czy podczas obróbki termicznej, SemiceraKaseta waflowazostał zaprojektowany tak, aby spełniać rygorystyczne wymagania przemysłu półprzewodników, zapewniając niezawodne i spójne działanie w celu zwiększenia wydajności produkcji i jakości produktu.
| Rzeczy | Produkcja | Badania | Atrapa |
| Parametry kryształu | |||
| Polityp | 4H | ||
| Błąd orientacji powierzchni | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametry elektryczne | |||
| Domieszka | Azot typu n | ||
| Oporność | 0,015-0,025 oma·cm | ||
| Parametry mechaniczne | |||
| Średnica | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Grubość | 350±25 µm | ||
| Podstawowa orientacja płaska | [1-100]±5° | ||
| Podstawowa długość płaska | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Mieszkanie wtórne | Nic | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 µm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Ukłon | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Osnowa | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 µm |
| Chropowatość przodu (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktura | |||
| Gęstość mikrorurki | <1 szt./cm2 | <10 szt./cm2 | <15 szt./cm2 |
| Zanieczyszczenia metaliczne | ≤5E10atomów/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 szt./cm2 | ≤3000 szt./cm2 | NA |
| TSD | ≤500 szt./cm2 | ≤1000 szt./cm2 | NA |
| Jakość przodu | |||
| Przód | Si | ||
| Wykończenie powierzchni | Si-face CMP | ||
| Cząstki | ≤60ea/wafel (rozmiar ≥0,3μm) | NA | |
| Zadrapania | ≤5 szt./mm. Długość skumulowana ≤Średnica | Długość skumulowana ≤2*Średnica | NA |
| Skórka pomarańczowa/pestki/plamy/prążki/pęknięcia/zanieczyszczenia | Nic | NA | |
| Wióry/wcięcia/pęknięcia/płytki sześciokątne na krawędziach | Nic | ||
| Obszary politypowe | Nic | Powierzchnia skumulowana ≤20% | Powierzchnia skumulowana ≤30% |
| Znakowanie laserowe z przodu | Nic | ||
| Powrót Jakość | |||
| Wykończenie tyłu | CMP z twarzą C | ||
| Zadrapania | ≤5ea/mm, skumulowana długość ≤2*średnica | NA | |
| Wady grzbietu (odpryski/wcięcia krawędzi) | Nic | ||
| Szorstkość pleców | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Tylne znakowanie laserowe | 1 mm (od górnej krawędzi) | ||
| Krawędź | |||
| Krawędź | Ścięcie | ||
| Opakowanie | |||
| Opakowanie | Epi-ready z opakowaniem próżniowym Opakowanie kasetowe składające się z wielu wafli | ||
| *Uwagi: „NA” oznacza brak żądania. Pozycje niewymienione mogą odnosić się do SEMI-STD. | |||
