Co to jest susceptor MOCVD?

TheMOCVDMetoda ta jest jednym z najbardziej stabilnych procesów stosowanych obecnie w przemyśle do hodowli wysokiej jakości cienkich warstw monokrystalicznych, takich jak jednofazowe epiwarstwy InGaN, materiały III-N i folie półprzewodnikowe o strukturach wielokwantowych i ma ogromne znaczenie w produkcja urządzeń półprzewodnikowych i optoelektronicznych.

TheSusceptor MOCVD z powłoką SiCto wyspecjalizowany uchwyt na płytki pokryty węglikiem krzemu (SiC).epitaksjalny rozwój procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej metali organicznych (MOCVD).

Powłoka SiC ma doskonałą odporność chemiczną i stabilność termiczną, co czyni ją idealnym wyborem dla susceptorów MOCVD stosowanych w wymagających procesach wzrostu epitaksjalnego.

Kluczowym elementem procesu MOCVD jest susceptor, będący kluczowym elementem zapewniającym jednorodność i jakość wytwarzanych cienkich folii.

Co to jest susceptor? Susceptor to wyspecjalizowany element stosowany w procesie MOCVD do podtrzymywania i podgrzewania podłoża, na którym osadzana jest cienka warstwa. Spełnia wiele funkcji, m.in. pochłania energię elektromagnetyczną, zamienia ją na ciepło, a także równomiernie rozprowadza ciepło po podłożu. To równomierne ogrzewanie jest niezbędne do wzrostu jednolitych cienkich folii o dokładnej grubości i składzie.

Rodzaje susceptorów:
1. Susceptory grafitowe: Susceptory grafitowe są często pokryte warstwą ochronną, npwęglik krzemu (SiC), który jest znany ze swojej wysokiej przewodności cieplnej i stabilności. ThePowłoka SiCzapewnia twardą, ochronną powierzchnię odporną na korozję i degradację w wysokich temperaturach.

2. Susceptory z węglika krzemu (SiC): Te susceptory są wykonane w całości z SiC i mają doskonałą stabilność termiczną i odporność na zużycie. Susceptory SiC są szczególnie odpowiednie do procesów wysokotemperaturowych i środowisk korozyjnych.

Jak działają susceptory w MOCVD:

W procesie MOCVD prekursory wprowadzane są do komory reakcyjnej, gdzie rozkładają się i reagują tworząc cienką warstwę na podłożu. Susceptor odgrywa kluczową rolę, zapewniając równomierne ogrzewanie podłoża, co ma kluczowe znaczenie dla uzyskania stałych właściwości folii na całej powierzchni podłoża. Materiał i konstrukcja susceptora są starannie dobierane, aby spełnić specyficzne wymagania procesu osadzania, takie jak zakres temperatur i zgodność chemiczna.

Korzyści ze stosowania wysokiej jakości susceptorów:
• Zwiększona jakość folii: Zapewniając równomierny rozkład ciepła, susceptor pomaga uzyskać folie o stałej grubości i składzie, co ma kluczowe znaczenie dla wydajności urządzeń półprzewodnikowych.
• Poprawiona wydajność procesu: Wysokiej jakości susceptory zwiększają ogólną wydajność procesu MOCVD, zmniejszając prawdopodobieństwo wystąpienia defektów i zwiększając wydajność folii użytkowych.
• Żywotność i niezawodność: Susceptory wykonane z trwałych materiałów, takich jak SiC, zapewniają długoterminową niezawodność i zmniejszają koszty konserwacji.

Susceptor jest integralną częścią procesu MOCVD i bezpośrednio wpływa na jakość i wydajność osadzania cienkowarstwowego. Aby uzyskać więcej informacji na temat dostępnych rozmiarów, susceptorów MOCVD i cen, prosimy o kontakt. Nasi inżynierowie chętnie doradzą Ci w sprawie odpowiednich materiałów i odpowiedzą na wszystkie Twoje pytania.

Telefon: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com