Nośniki powłok SiC do trawienia półprzewodników

Krótki opis:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. jest wiodącym dostawcą zaawansowanej ceramiki półprzewodnikowej.Do naszych głównych produktów należą: tarcze trawione węglikiem krzemu, przyczepy do łodzi z węglika krzemu, statki z płytkami z węglika krzemu (PV i półprzewodniki), rury piecowe z węglika krzemu, łopatki wspornikowe z węglika krzemu, uchwyt z węglika krzemu, belki z węglika krzemu, a także powłoki CVD SiC i Powłoki TaC.

Produkty te są stosowane głównie w przemyśle półprzewodników i fotowoltaiki, np. w hodowli kryształów, epitaksji, trawieniu, pakowaniu, powlekaniu i urządzeniach do pieców dyfuzyjnych.

Wyślij e-mail do nas

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Opis

Nasza firma świadczy usługi w zakresie powlekania SiC metodą CVD na powierzchni grafitu, ceramiki i innych materiałów, dzięki czemu specjalne gazy zawierające węgiel i krzem reagują w wysokiej temperaturze w celu uzyskania cząsteczek SiC o wysokiej czystości, cząsteczek osadzonych na powierzchni powlekanych materiałów, tworząc warstwę ochronną SIC.

Główne cechy

1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze:
odporność na utlenianie jest nadal bardzo dobra, gdy temperatura wynosi aż 1600 C.
2. Wysoka czystość: uzyskana przez chemiczne osadzanie z fazy gazowej w warunkach chlorowania w wysokiej temperaturze.
3. Odporność na erozję: wysoka twardość, zwarta powierzchnia, drobne cząstki.
4. Odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC

Właściwości SiC-CVD
Struktura krystaliczna	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Wielkość ziarna	µm	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99,99995
Pojemność cieplna	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (CTE)	10-6K-1	4,5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300