Susceptor grafitowy z powłoką z węglika krzemu, taca na beczkę

Krótki opis:

Semicera oferuje kompleksową gamę susceptorów i komponentów grafitowych przeznaczonych do różnych reaktorów epitaksyjnych.

Dzięki strategicznemu partnerstwu z wiodącymi w branży producentami OEM, rozległej wiedzy specjalistycznej na temat materiałów i zaawansowanym możliwościom produkcyjnym, Semicera dostarcza projekty dostosowane do konkretnych wymagań Twojej aplikacji.Nasze dążenie do doskonałości gwarantuje, że otrzymają Państwo optymalne rozwiązania spełniające potrzeby reaktorów epitaksji.

Wyślij e-mail do nas

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Opis

Nasza firma świadczy usługi w zakresie powlekania SiC metodą CVD na powierzchni grafitu, ceramiki i innych materiałów, dzięki czemu specjalne gazy zawierające węgiel i krzem reagują w wysokiej temperaturze uzyskując cząsteczki SiC o wysokiej czystości, cząsteczki osadzone na powierzchni powlekanych materiałów, tworząc warstwę ochronną SIC.

o (1)

około 2)

Główne cechy

1. Grafit pokryty SiC o wysokiej czystości

2. Doskonała odporność na ciepło i jednorodność termiczna

3. Drobna powłoka kryształowa SiC zapewniająca gładką powierzchnię

4. Wysoka odporność na czyszczenie chemiczne

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC

Właściwości SiC-CVD
Struktura krystaliczna	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Wielkość ziarna	um	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99,99995
Pojemność cieplna	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (CTE)	10-6K-1	4,5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300