Materiał pola termicznego do wzrostu kryształów węglika krzemu – porowaty węglik tantalu

Krótki opis:

Porowaty węglik tantalu stosowany jest głównie do filtracji składników fazy gazowej, regulacji lokalnego gradientu temperatury, kierowania kierunku przepływu materiału, kontrolowania wycieków itp. Można go stosować z inną powłoką ze stałego węglika tantalu (kompaktową) lub węglikiem tantalu firmy Semicera Technology w celu utworzenia lokalnych komponentów o różnej przewodności przepływu.

Wyślij e-mail do nas

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Semicera Semicera dostarcza specjalistyczne powłoki z węglika tantalu (TaC) do różnych komponentów i nośników.Wiodący proces powlekania Semicera Semicera umożliwia powłokom z węglika tantalu (TaC) osiągnięcie wysokiej czystości, wysokiej stabilności temperaturowej i wysokiej tolerancji chemicznej, poprawiając jakość produktu kryształów SIC/GAN i warstw EPI (Susceptor TaC pokryty grafitem) i wydłużenie żywotności kluczowych elementów reaktora.Zastosowanie powłoki TaC z węglika tantalu ma na celu rozwiązanie problemu krawędzi i poprawę jakości wzrostu kryształów, a Semicera Semicera dokonała przełomowego rozwiązania technologii powlekania węglikiem tantalu (CVD), osiągając międzynarodowy poziom zaawansowany.

Po latach rozwoju Semicera podbiła technologięCVD TaCdzięki wspólnym wysiłkom działu badawczo-rozwojowego.Wady łatwo powstają w procesie wzrostu płytek SiC, ale już po ich użyciuTaC, różnica jest znacząca.Poniżej znajduje się porównanie płytek z i bez TaC, a także części Simicery do wzrostu monokryształów

Część taktyczna do wzrostu monokryształu

Przeciwzużyciowa powłoka z węglika tantalu_ Chroni sprzęt przed zużyciem i korozją. Zdjęcie główne

Grafit z pierścieniem pokrytym TaC

z TaC i bez

Po użyciu TaC (po prawej)

Ponadto żywotność produktów powłokowych TaC firmy Semicera jest dłuższa i bardziej odporna na wysoką temperaturę niż powłoka SiC.Po długim czasie laboratoryjnych danych pomiarowych nasz TaC może pracować przez długi czas w temperaturze maksymalnie 2300 stopni Celsjusza.Oto niektóre z naszych próbek: